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坩埚喷涂旋转烘箱、旋转台

2018-01-15 16:20:21 来源:无锡市康泰尔机电制造有限公司
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*坩埚喷涂烘烤装置是多晶硅铸锭炉的辅助工艺装备,用于对铸锭炉所使的石英坩埚进行脱模剂(SiN粉末)涂层喷涂。该装置是铸锭炉必备附机,采用先进的温控匀热技术及美国产高精密防飞雾喷枪,能帮助用户完成高质量的坩埚喷涂,并减少原料的消耗!根据用户需求,坩埚喷涂烘烤工艺装备包括双向回转加热器、脱模剂(SiN)泵送系统、坩埚烘箱等辅助附件组成。
该喷涂台和喷枪适用于多晶硅坩埚的氮化硅涂层的喷涂。喷枪采用美国产的精密可调非金属喷枪,搅拌器采用非金属材料制成,在喷涂过程中绝对没有金属杂质进入多晶硅坩埚的涂层中,有效保证了氮化硅涂层的纯净。

一、旋转台技术规格:

a、加热腔室:长880 mm×宽880 mm×深400~450

联系方式: 陶江波; 510 - 8553982; 13921111692; 365194079@qq.com

坩埚喷涂旋转烘箱、旋转台

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